| 发明名称 | 光阻涂布方法及其光阻涂布设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种光阻涂布设备，包括一光阻涂布装置、一清洁装置以及一平台。基板置放于平台之上。当涂布光阻时，清洁装置先清除基板表面的微粒，接着，光阻涂布装置将光阻均匀喷洒于基板的表面。 | ||
| 申请公布号 | CN1885164A | 申请公布日期 | 2006.12.27 |
| 申请号 | CN200510079116.X | 申请日期 | 2005.06.24 |
| 申请人 | 广辉电子股份有限公司 | 发明人 | 苏育煌;陈世仁;周振南 |
| 分类号 | G03F7/16(2006.01);G03F7/26(2006.01) | 主分类号 | G03F7/16(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 夏青 |
| 主权项 | 1、一种光阻涂布设备，用以对一基板涂布一光阻，包括：一平台，用以置放该基板；一清洁装置，在该平台上方移动，以真空吸力清除多个微粒；以及光阻涂布装置，对该基板喷洒该光阻。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园县 | ||