| 发明名称 | 具有三层横梁的MEMS器件 | ||
| 摘要 | 提供一种悬挂在基板(102)上的活动的、三层微元件(108)，并且包括第一导电层(116)，将该第一导电层构图限定活动电极(114)。用间隙将基板(102)与第一金属层(116)分开。微元件(108)还包括在第一金属层(116)上形成并且一端相对于基板(102)固定的电介质层(112)。此外，微元件(102)包括在介质层(112)上形成的第二导电层(120)，并且构图限定与活动电极(114)电连接的电极互连(124)。 | ||
| 申请公布号 | CN1292447C | 申请公布日期 | 2006.12.27 |
| 申请号 | CN02826914.4 | 申请日期 | 2002.11.08 |
| 申请人 | 图恩斯通系统公司;维斯普瑞公司 | 发明人 | 肖恩·J·坎宁安;达纳·R·德吕斯;苏巴哈姆·塞特;斯韦特兰娜·塔蒂克－卢奇克 |
| 分类号 | H01H57/00(2006.01) | 主分类号 | H01H57/00(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王英 |
| 主权项 | 1、一种具有活动的、三层微元件的、微小规模的、静电致动的开关，该开关包括：(a)包括固定电极和附着有固定触头的基板；(b)弹性结构层，包括相对于基板固定的至少一端、悬在基板上方的下表面以及与下表面相对的上表面；(c)附着在弹性结构层的下表面上的活动电极，从而活动电极与固定电极分开第一间隙；(d)附着在弹性结构层的上表面并且连接到活动电极上用于电连接的电极互连；(e)附着在弹性结构层的下表面上的活动触头，从而用第二间隙将活动触头与固定触头分开，并且其中活动触头位于靠近该至少一端，且活动电极覆盖围绕活动触头的下表面的区域；以及(f)在弹性结构层的上表面上形成的并且连接到活动触头上用于电连接的接触互连。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||