目视检查装置

摘要

本发明的一目视检查装置包括照明单元，譬如，照射光于一晶圆上的一大范围照明单元，一狭长照明单元，以及一点照明单元，可移动地摆动及固持一晶圆的一摆动机构，以及控制这些照明单元及摆动机构的一控制单元。此目视检查装置的检查状况设定值藉由一键盘、滑鼠等输入，藉由检查程序总结，并储存在一储存单元中，成为检查程序的设定资料，且其藉由在控制单元中的一设定资料选择单元进行选择及检查。