介面总成及使用其之乾燥气体封入装置

摘要

本发明为一种设置于测头，以将探针卡连接于测头之介面总成，其包含有介面及壳体，该介面具有介面本体及支撑于介面本体之同轴连接器之介面、该壳体在同轴连接器与设置于探针卡之对应同轴连接器嵌合之状态下，封入导入测头与探针卡间，经由介面所形成之空隙而流至测头内之乾燥气体。