氧化物薄膜及其制造方法

摘要

本发明系关于一种氧化物薄膜及其制造方法，其系将奈米光触媒掺入氧化物溶胶凝胶溶液，再以低于知之锻烧温度乾燥后，利用波长部分位于紫外光波长范围之光照射制得氧化物薄膜。本发明之制造方法系于低温中进行，达到简化制程与降低成本之基本诉求，制得之薄膜具有高硬度及低水气穿透率之特性，可应用于光电、光学及建材之表面处理。