用于光束漂移补偿之装置及方法

摘要

本发明提供一种用于保持一准直光束之预期位置的装置及方法。一光学系统包含一或多个被动式光学元件，可移动定位于该光束路径中。光束位置会响应于该等被动光学元件中至少其中一者的移动。光束的实际位置会被侦测且与预期的光束位置作比较。产生一误差信号且光束路径会响应于该等被动光学元件中一或多者的移动而改变。于进一步观点中，提供光束整形光学元件，如绕射光学元件，用以调整所感测到之光束部分的形状。于其它观点中，还可监视雷射的热条件并且提供一热地图，以便自动补偿因热条件所造成的预计光束漂移。