无机氧化物膜之处理方法,电子装置用基板,电子装置用基板之制造方法,液晶面板及电子机器

摘要

本发明的课题系提供可使醇不仅在无机氧化物膜的表面，在细孔里面亦可确实地进行化学结合之无机氧化物膜的处理方法、例如液晶分子等之定向性不易随着时间降低之电子装置用基板、可制造此电子装置用基板之电子装置用基板之制造方法、信赖性高的液晶面板及电子机器。本发明的电子装置用基板之制造方法，其系包含于该基板9其中一侧之面上，藉由倾斜蒸镀法形成其有多数细孔30之无机氧化物膜31之步骤；使形成该无机氧化物膜31之基板9浸渍于至少含有第1醇、与分子量小于该第1醇的第2醇之处理液中之步骤；藉由使放置该处理液的空间减压，而使该细孔30内浸透该处理液之步骤；以及于该无机氧化物膜31的表面及细孔30的里面，使该处理液中的醇进行化学结合而得到该定向膜3A之步骤。