| 摘要 |
本案系为一种夹环定位机构，适用于一半导体制程反应室，该夹环定位机构包含：一夹环，其上具有一锁固孔；一第一垫圈，系位于该夹环下方，其具有对应于该锁固孔之一第一穿孔；一第二垫圈，系位于该夹环上方，其具有对应于该锁固孔之一第二穿孔，该第二垫圈具有大体上呈碟片状之第一端、由该第一端向下渐缩的第二端及介于该第一端与该第二端之间之垫圈本体，其中该垫圈本体之部分外缘恰与该锁固孔的内缘接触；以及一柱塞，系具有一贯穿部，依序穿过该第二垫圈的第二穿孔及该第一垫圈的第一穿孔，俾将该夹环锁固于该第一垫圈与该第二垫圈之间。 |
