| 摘要 |
晶圆测试系统的探针卡包括一或更多诸如FPGA之可程式IC，以提供自各别测试信号通道至多探针的一者之路由。可程式IC可被放置在探针卡的基底PCB上，或在附接至探针卡之子卡上。至于程式化能力，PCB可被使用来切换离开未使用探针之有限测试系统通道。程式化能力进一步致使单一探针卡更有效地测试具有相同焊垫阵列之装置，该装置具有用于不同装置选择性之不同接脚外特性。重新程式化能力亦允许测试工程师在排除测试程式错误时重新程式化。因为可程式IC典型地包括导入未知延迟之缓冲器，于一实施例中，延迟的量测系藉由以下步骤达成，第一程式此可程式IC以提供至测试系统之回归路径，以使缓冲器延迟可被量测，且然后，重新程式化现具有已知延迟之可程式IC以连接至待测装置。 |
