发明名称 位精度评估方法及位置精度评估装置
摘要 【课题】在圆盘形状之第一材料内,将由第二材料构成的构件配置成半径具有第1长度的第1圆及半径具有第2长度的第2圆的情况,评估用以表示实际之第1圆及第2圆对设计位置偏差的程度之位置精度。【解决手段】(1)量测该第一材料之外周上的位置之将该外周大致n等分的第1位置至第n位置;(2)从系连接该第一材料之材料的中心和该第1位置之第1半径,与该第1圆之圆弧的交点之第(n+1)位置,量测至系连接该圆盘形状之第一材料的中心和该第n位置之第n半径,与该第1圆之圆弧的交点之第2n位置;(3)从系该第1半径和该第2圆之圆弧的交点之第(2n+1)位置,量测至系该第n半径和该第2圆之圆弧的交点之第3n位置;(4)从以该第(n+1)位置为起点并以该第1位置为终点之第1向量,计算至以该第2n位置为起点并以该第n位置为终点之第n向量;(5)从以该第(2n+1)位置为起点并以该第(n+1)位置为终点之第1向量,计算至以该第3n位置为起点并以该第2n位置为终点之第2n向量;(6)将该第1向量至该第n向量相加而算出第1合成向量;(7)将该第(n+1)向量至该第2n向量相加而算出第2合成向量;(8)根据将该第1合成向量和该第2合成向量相加所得到之第3合成向量,评估对该第1外周之该第1圆及该第2圆之位置精度。
申请公布号 TW200644707 申请公布日期 2006.12.16
申请号 TW095108701 申请日期 2006.03.15
申请人 子股份有限公司 发明人 海野豊;菊泰二
分类号 H05B3/68(2006.01) 主分类号 H05B3/68(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文
主权项
地址 日本