发明名称 双极性电晶体以及其之制造方法
摘要 本发明提供一种因为一减小的集极串联电阻及一减小的集极至基板电容而具有改良性能的双极性电晶体。该双极性电晶体包括一突出物(5),其大小可被减小至无法以微影技术达成的尺寸。该突出物(5)包括一集极区(21)及一基极区(22),其中该集极区(21)覆盖且电连接至一第一集极连接区(3)的一第一部份。一第二集极连接区(13)覆盖该第一集极连接区(3)的一第二部份,而且藉由一绝缘层(10、11)与该突出物(5)分开,该绝缘层覆盖该突出物(5)的侧壁。对该基极区(22)的接触系藉由一基极连接区(15)而提供,其邻接该突出物(5)且藉由一绝缘层(14)与该第二集极连接区(13)分开。一集极接点(31)及一基极接点(32)同时形成在该第二集极连接区(13)的一曝露部份上以及该基极连接区(15)未被移除的一部份上。
申请公布号 TW200644124 申请公布日期 2006.12.16
申请号 TW095114737 申请日期 2006.04.25
申请人 皇家飞利浦电子股份有限公司 发明人 鸠斯特 米赖;维杰亚拉盖文 马达卡希拉
分类号 H01L21/328(2006.01) 主分类号 H01L21/328(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 荷兰