电浆处理装置

摘要

本发明的课题是在于提供一种电浆处理的面内均一性高，且充电损伤不易产生之电容结合型的电浆处理装置。其解决手段是电容结合型的电浆处理装置100具有：处理室1，其系保持于真空环境；第1及第2电极2，18，其系于处理室1内互相平行配置；及电浆生成机构10，其系于第1及第2电极2，18之间形成高频电场而生成处理气体的电浆；又，第2电极18系其至少与第1电极2的对向部分会被分割成第1分割片18c1及第2分割片18c2，该第1分割片18c1及第2分割片18c2为导体所构成，成浮动状态或被接地，更具有在第1分割片18c1及第2分割片18c2之间施加电压的可变直流电源。