一种蚀刻液浓度的监控方法

摘要

一种蚀刻液浓度的监控方法，用以监控一持续反应之蚀刻液浓度，其步骤包括：首先在第一时间利用一循环泵浦抽取一定量之蚀刻液样本，采用滴定法量测该蚀刻液样本之酸硷值变化量，依据酸硷当量点判断该蚀刻液在第一时间之消耗量，最后回补该消耗量之蚀刻液成分使其浓度维持稳定。