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发明名称
用于制造固态影像捕捉装置及电资讯装置之方法
摘要
一种用于制造一固态影像捕捉装置之方法,在该固态影像捕捉装置中至少一电荷侦测部分侦测经光电转换且聚积于在一半导体基板上所提供之光电转换部分处之复数个电荷中之每一者,每一电荷侦测部分由复数个该等光电转换部分共用,该方法包括:一杂质区域形成步骤,其藉由自与该复数个光电转换部分之一配置方向相交之至少一方向执行一离子植入来于该复数个光电转换部分之每一光电转换部分之表面上形成一杂质区域,该至少一方向相对于垂直于该表面之一法线具有一预定倾角。
申请公布号
TW200644230
申请公布日期
2006.12.16
申请号
TW095112312
申请日期
2006.04.07
申请人
夏普股份有限公司
发明人
川崎隆之
分类号
H01L27/146(2006.01);H01L21/265(2006.01);H04N5/335(2006.01)
主分类号
H01L27/146(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文;林宗宏
主权项
地址
日本
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