摘要 |
本发明之陶瓷板之制造方法为:在金属膏制作步骤中制作不会往陶瓷扩散之钯膏(PdPaste),在金属膜形成步骤中使用钯膏,在陶瓷生片(greensheet)表面形成金属膜,以便焙烧后所形成之陶瓷层彼此成为不在积层方向连通之膜厚;经过积层体制作步骤,在焙烧步骤中以焙烧温度,其系焙烧后玻璃成分不会残留于陶瓷层表层面之高温,且低于构成上述陶瓷层之陶瓷材料之分解温度者,对积层体施以焙烧处理;于分离步骤中将烧结体浸泡于正丁醇中,去除存在陶瓷层与金属层界面的氧,分离陶瓷层与金属层。藉此,便能不破损而以高效率制造出极薄陶瓷板,并可容易地运用在积层型电子零件上。 |