有机被膜之除去方法及微影方法

摘要

本发明之目的系提供一种抑制有机被膜之剥离性之降低，有效除去基体上之有机被膜的方法。本发明有机被膜之除去方法系使附着于基体之有机被膜，与由有机溶剂所成，且经由臭氧处理之再生处理剥离液进行接触后，除去时，使该剥离液中羧酸成份及其酯成份之合计量维持于30质量％以下，同时使有机被膜与剥离液接触。做为剥离液者使用碳酸乙烯酯及碳酸丙烯酯等碳酸伸烷酯。