| 摘要 |
本发明之目的在于提供一种氧化物介电层之形成方法，其系使用溶胶–凝胶法形成介电层，该介电层不易受到蚀刻液之损伤，且高电容量等介电特性佳者。为达成该目的，于以溶胶–凝胶法之氧化物介电层之形成方法，采用一种氧化物介电层之形成方法等，其特征在于：包括以下(a)～(c)之步骤。(a)步骤：调制制造所期望的氧化物介电层之溶胶–凝胶溶液之溶液调制步骤。(b)步骤：将上述溶胶–凝胶涂工于金属基材之表面，于含氧气氛中乾燥，于含氧气氛中进行热分解之一连步骤为1单位步骤，反覆复数次该1单位步骤，于1单位步骤与1单位步骤之间任意设550℃～1000℃之惰性气体置换等预备烧处理进行膜厚调整之涂工步骤。(c)步骤：最后进行550℃～1000℃之惰性气体置换等之烧处理使之成介电层之烧步骤。 |
