| 摘要 |
本发明之品质管理系统，系具备：储存过去批量之QC实测值的QC值记忆部、取得对象批量之处理装置之装置内部资讯的资料取得装置、储存装置内部资讯的装置内部资讯记忆部、储存依据晶圆内之取样密度分布所分类之复数之处理方法的处理方法记忆部、根据装置内部资讯及过去批量之QC实测值，预测对象批量之QC预测值的QC值预测手段、根据QC预测值在构成对象批量之复数晶圆中，决定成为测定对象之样品晶圆的晶圆决定手段、根据QC预测值从复数之处理方法中选择适用于样品晶圆之适用处理方法的处理方法选择手段、使用适用处理方法对样品晶圆进行QC测定，并将测定结果储存于QC值记忆部的测定装置。 |
