用于半导体测试板之防止杂讯(noise)干扰的探针结构

摘要

一种用于半导体测试板之防止杂讯(noise)干扰的探针结构，其包括复数个探针层、复数个隔板、复数个接地之隔离针及复数个空隔(space)。其中每一个探针层系具有复数个探针，该等隔板系分别设置于每二个探针层之间，以防止该等探针层间之杂讯干扰；该等接地之隔离针系分别电性连接于该等探针之一部分，以隔绝另一部分探针间之杂讯干扰；该等空隔系分别设置于一部分探针之探针间，以增加该部分探针间彼此之距离，并用于隔绝该部分探针间之杂讯干扰。因此在不变更原有之探针架构下，藉由隔板、隔离针及／或空隔等方式，以增加探针彼此间之抗杂讯能力。