探针卡之调整机构及探针装置

摘要

本发明之课题专利文件1、2所记载之技术中，必须操作重量物亦即测试头本身。又，专利文件3所记载之探针装置，系使用倾斜修正机构来修正探针的倾斜，故没有专利文件1、2的问题。但是专利文件3所记载之技术中，难以达成探针的圆滑修正。本发明之解决手段本发明之探针装置10，系具备探针卡11，和支撑探针卡11的插入环13，和支撑插入环13的顶板14；和调整装置16，其具有介入存在于插入环13与顶板14之间，调整探针卡11与晶圆卡盘15上之晶圆W之平行度的第1、第2支撑机构161、162；第2支撑机构162，系具有位于顶板14上，使插入环13升降的楔构件162A。