基板检查装置

摘要

本发明之基板检查装置包含：使基板浮起之浮起台、用以观察搬运到前述浮起台上之前述基板的上面之观察机构、由前述基板之下面将照明光照射于前述基板之透过照明光源、形成于前述浮起台并且由前述照明光可通过之间隙构成之照明光通过部、及嵌入于前述照明光通过部并使前述照明光透过之透过构件。