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发明名称
有机铝前驱体化合物
摘要
本发明系关于由下式所示之有机铝前驱体化合物:095104234-p01.bmp其中R1、R2、R3及R4相同或不同且各示氢或具有1至约3碳原子之烷基,及R5示具有1至约3碳原子之烷基。本发明也关于一种用于制造该有机铝前驱体化合物的方法及由该有机铝前驱体化合物制造薄膜或涂层的方法。095104234-p01.bmp
申请公布号
TW200643053
申请公布日期
2006.12.16
申请号
TW095104234
申请日期
2006.02.08
申请人
普雷瑟科技股份有限公司
发明人
大卫 彼得斯;戴瑞克 海佛
分类号
C08F4/14(2006.01);C23C16/40(2006.01)
主分类号
C08F4/14(2006.01)
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
美国
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