| 摘要 |
本发明之课题在于提供一种在前处理步骤中不会产生基板污染的问题，且可正确地对准基板与遮罩的位置，而可形成精细的有机发光层之有机电激发光元件制造技术。本发明之解决手段为，在具有基板10之前处理步骤的有机电激发光元件制造方法中，上述前处理步骤具有在真空中将上述基板10予以加热及冷却的步骤，且在该冷却步骤完成后，对该基板10进行成膜用遮罩11的位置对准，接着，隔着成膜用遮罩11在基板10上形成电洞输送层，然后，进行至少一色之有机发光层的形成。前处理步骤的冷却系在烘烤室23的加热处理后与前处理室25的真空电浆处理后，在冷却室24中进行者。 |
