半导体装置及其制造方法

摘要

一种半导体装置具有半导体基板、在半导体基板中形成的槽、在槽的内壁上形成的闸极绝缘膜、在槽中形成的闸电极、以及沿着与半导体基板的基板表面实质上正交的方向排列的源极／汲极区域和LDD区域。