检查装置及检查方法

摘要

本发明提供检查装置及检查方法，可高速地对检查对象之良否进行检查。于作为检查对象之液晶面板(玻璃基板)10上部固定感测器1，透过气流使该检查对象10上浮而进行非接触检查之际，透过由长度测量部4所进行之雷射长度测量，量测感测器1和液晶面板10之间的距离，然后根据其结果，亦自感测器侧由空气喷出部11喷出空气，藉以控制感测器1和液晶面板10之间的间隔(间隙)。