六氯化二矽之精制方法及高纯度六氯化二矽

摘要

本发明系提供一种可由含有矽醇不纯物之六氯化二矽原料有效去除矽醇，取得高纯度之六氯化二矽的方法。本发明六氯化二矽之精制方法系具备使含有六氯化二矽与矽醇不纯物之氯化二矽原料与活性碳等吸附剂接触后，去除矽醇之步骤。甚至亦可具备蒸馏之步骤。该各步骤系于不活性气体环境下进行者为宜。