摘要 |
本发明之电子零件之制造方法,其系准备包含复数第1区域之第1基板;准备包含复数第2区域之第2基板;以功能元件之至少一部分配置在前述第1区域与前述第2区域间之空间内之方式,使前述第1区域与前述第2区域互相相对,接合前述第1基板与前述第2基板;接合前述第1基板与前述第2基板后,于各前述第1区域切断前述第1基板,得到分割为复数之第1分割基板;切断前述第1基板后,于前述第2基板上形成被覆前述复数第1分割基板之密封薄膜;形成前述密封薄膜后,于各前述第2区域切断前述第2基板,得到分割为复数之第2分割基板;制造单片化之复数电子零件。 |