发明名称 电子零件之制造方法、电子零件及电子机器
摘要 本发明之电子零件之制造方法,其系准备包含复数第1区域之第1基板;准备包含复数第2区域之第2基板;以功能元件之至少一部分配置在前述第1区域与前述第2区域间之空间内之方式,使前述第1区域与前述第2区域互相相对,接合前述第1基板与前述第2基板;接合前述第1基板与前述第2基板后,于各前述第1区域切断前述第1基板,得到分割为复数之第1分割基板;切断前述第1基板后,于前述第2基板上形成被覆前述复数第1分割基板之密封薄膜;形成前述密封薄膜后,于各前述第2区域切断前述第2基板,得到分割为复数之第2分割基板;制造单片化之复数电子零件。
申请公布号 TW200644104 申请公布日期 2006.12.16
申请号 TW095105622 申请日期 2006.02.20
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 桥元伸晃
分类号 H01L21/304(2006.01);H01L21/00(2006.01) 主分类号 H01L21/304(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本