Verfahren zur Herstellung einer Struktur von Filterschichtsystem-Bereichen.,申请号CH19970001595-传众专利搜索

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发明名称	Verfahren zur Herstellung einer Struktur von Filterschichtsystem-Bereichen.
摘要
申请公布号	CH696088(A5)	申请公布日期	2006.12.15
申请号	CH19970001595	申请日期	1997.07.02
申请人	OERLIKON TRADING AG, TRUEBBACH	发明人	SPERGER, REINHARD, DIPL.-ING.;EDLINGER JOHANNES DR. PHYS.;SCHOECH HELMUT
分类号	G03F7/00;G02B5/20	主分类号	G03F7/00
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