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发明名称 PLASMA-BEARBEITUNGS-KAMMER UND VERFAHREN ZUR KONTROLLE VON VERUNREINIGUNGEN
摘要
申请公布号 AT345577(T) 申请公布日期 2006.12.15
申请号 AT19990915049T 申请日期 1999.03.26
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 SCHOEPP, ALAN, M.;WICKER, THOMAS, E.;MARASCHIN, ROBERT, A.
分类号 H05H1/46;C23C16/44;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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