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发明名称 VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG DER OBERFLÄCHE VON HALBLEITENDEN SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 AT346379(T) 申请公布日期 2006.12.15
申请号 AT19970305641T 申请日期 1997.07.28
申请人 SURFACE TECHNOLOGY SYSTEMS PLC 发明人 BHARDWAJ, JYOTI KIRON;ASHRAF, HUMA;KHAMSEHPOUR, BABAK;HOPKINS, JANET;RYAN, MARTIN EDWARD;HAYNES, DAVID MARK;HYNES, ALAN MICHAEL
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/31;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312;H01L21/306;H01L21/321 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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