发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN HALBLEITERBAUELEMENT UND GATE-STAPEL
摘要
申请公布号 AT345580(T) 申请公布日期 2006.12.15
申请号 AT19990942555T 申请日期 1999.08.31
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 YIN, ZHIPING;IYER, RAVI;GLASS, THOMAS, R.;HOLSCHER, RICHARD;NIROOMAND, ARDAVAN;SOMERVILLE, LINDA, K.;SANDHU, GURTEJ, S.
分类号 H01L21/027;H01L21/28;H01L21/311;H01L21/318;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址