发明名称 Verfahren zur Herstellung einer integrierten Halbleiterschaltung mit einem Isolationsgraben
摘要
申请公布号 DE10143997(B4) 申请公布日期 2006.12.14
申请号 DE20011043997 申请日期 2001.09.07
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 KIRCHHOFF, MARKUS
分类号 H01L21/762;H01L21/60;H01L21/768 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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