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发明名称 Reinigen von Halbleiterscheiben und Mikroelektronik-Substraten
摘要
申请公布号 DE69834856(T2) 申请公布日期 2006.12.14
申请号 DE19986034856T 申请日期 1998.02.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP.;INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 COHEN, SUSAN;COOPER, EMMANUEL I.;PENNER, KLAUS;RATH, DAVID L.;SRIVASTAVA, KAMALESH K.
分类号 H01L21/304;H01L21/306;B08B3/12;H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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