| 发明名称 | 非破坏性检查装置及非破坏性检查方法 | ||
| 摘要 | 一种非破坏性检查方法，能不受试料的电流路径限定而检出缺陷。在由加热源从试料的背面侧加热了该试料之后，放置给定时间，由观测部从所述试料的表面侧观测在所述试料上形成的温度分布，从而检出所述试料的缺陷的有无。 | ||
| 申请公布号 | CN1877314A | 申请公布日期 | 2006.12.13 |
| 申请号 | CN200610091216.9 | 申请日期 | 2006.06.07 |
| 申请人 | 恩益禧电子股份有限公司 | 发明人 | 二川清 |
| 分类号 | G01N25/72(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01N25/72(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 陆锦华;谢丽娜 |
| 主权项 | 1.一种非破坏性检查方法，其特征在于，在由加热源加热了试料之后，放置给定时间，由观测部观测在所述试料上形成的温度分布，从而检出所述试料的缺陷的有无。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||