发明名称 |
集成的金属-绝缘体-金属电容器和金属栅晶体管及方法 |
摘要 |
公开了一种集成电路结构,它包括各有由一层绝缘体分隔开的金属板的一对电容器,以及与该电容器电连接的金属栅半导体晶体管。晶体管的金属栅和每一电容器的金属板之一在集成电路结构中包含同一金属层。更具体地说,每一电容器包含具有在一下金属板垂直上方的一上金属板的一个垂直电容器,而且晶体管的各金属栅和电容器的各上金属板在集成电路结构中包含同一金属层。 |
申请公布号 |
CN1290199C |
申请公布日期 |
2006.12.13 |
申请号 |
CN03155108.4 |
申请日期 |
2003.08.20 |
申请人 |
国际商业机器公司 |
发明人 |
L·A·克莱文格;L·L·许;黄洸汉 |
分类号 |
H01L27/108(2006.01);H01L21/8242(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/108(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
吴立明;王勇 |
主权项 |
1.一种集成电路结构,包含:具有由一绝缘体分隔开的金属板的一电容器;以及与所述电容器电连接并有一金属栅的一半导体晶体管,在所述金属栅侧壁周围形成有侧壁隔断物;其特征在于:所述金属栅和所述金属板中的一个由所述集成电路结构中的同一金属层形成;并且所述金属板中的另一个与所述侧壁隔断物背对所述晶体管的一侧的表面在同一平面内。 |
地址 |
美国纽约州 |