发明名称 | 固体摄象装置以及使用该装置的摄像机微型组件 | ||
摘要 | 一种以接合栅型场效应晶体管作像素用的固体摄象装置。在n型的第1半导体区域(21)的表面区域,n型的源区域(23)及漏区域(22)相互分离形成。与漏区域(22)连接的n型的第2半导体区域(24)形成于第1半导体区域(21)的表面区域。形成于第2半导体区域(24)下部的第1半导体区域(21)内,与第2半导体区域(24)电气连接,积蓄与入射光对应的信号电荷的p型第3半导体区域(26)被形成。P型的第4半导体区域(25)形成于漏区域(22)与源区域(23)间的第1半导体区域(21)的表面区域。利用这些源区域(23)、漏区域(22)、第2半导体区域(24)及第3半导体区域(26)构成像素,在这一像素的信号电荷积蓄期间、信号读出期间及信号电荷排出期间分别向漏区域(22)供给不同电压。 | ||
申请公布号 | CN1290202C | 申请公布日期 | 2006.12.13 |
申请号 | CN02150685.X | 申请日期 | 2002.11.13 |
申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 後藤浩成 |
分类号 | H01L27/14(2006.01) | 主分类号 | H01L27/14(2006.01) |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 沈昭坤 |
主权项 | 1.一种固体摄象装置,其特征在于,具备半导体基板(20)、和形成于上述半导体基板的多个像素(1,15),上述多个像素的工作状态分别具有信号电荷的积蓄期间、信号读出期间及信号电荷的排出期间,上述多个像素分别具有下列部分:形成于上述半导体基板上的第1导电型的第1半导体区域(21)、形成于上述第1半导体区域的表面区域的第1导电型的源区域(23)、与上述源区域相互分离形成在上述第1半导体区域的表面区域、在上述像素的信号电荷的积蓄期间、信号读出期间及信号电荷的排出期间分别供给不同电压的第1导电型漏区域(22)、形成于所述漏区域与源区域之间的上述第1半导体区域的表面区域的第1导电型的第2半导体区域(24)、形成于上述第2半导体区域下部的第1半导体区域、且与上述第2半导体区域电气连接、并积蓄与入射光对应的信号电荷的与上述第1导电型相反导电型的第2导电型的第3半导体区域(26),及形成于上述源区域与漏区域间的上述第1半导体区域的表面区域的第2导电型的第4半导体区域(25)。 | ||
地址 | 日本东京 |