通过增强电解溶液混和来沉积平面金属的阳极设计以及使用这种设计供应电解溶液的工艺

摘要

一种可以将溶液提供至基底表面的阳极组件(a)，该阳极组件(9)包括一形成内部壳体容积的壳体，流体可以流入该内部壳体容积中。一个用于该内部壳体容积的挡板，溶液可以通过挡板从内部壳体容积排到基底表面。一个过滤器(162)，内部壳体容积被该过滤器分隔成一个第一室和位于第一室和挡板之间的第二室。在向所述的表面供应溶液的过程中，流进第二室的溶液比流进第一室的溶液的速度高，诸流体在第二室中混合。

主权项

1.一种可以将溶液提供至基底表面的阳极组件，所述组件包括：一限定内部壳体容积的壳体，所述溶液可流入所述内部壳体容积，一用于盖住所述壳体开口的挡板，通过所述挡板溶液可以从内部壳体容积排到基底表面，一过滤器，所述内部壳体容积被该过滤器分割成一个第一室和位于第一室和挡板之间的第二室，其特征在于，在向所述表面供应溶液的过程中，流进所述第二室的溶液比流进所述第一室的溶液的速度高，所述诸流体在第二室中混合。