发明名称
摘要
申请公布号 JP3857653(B2) 申请公布日期 2006.12.13
申请号 JP20030024070 申请日期 2003.01.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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