发明名称 IMPEDANCE-TO-VOLTAGE CONVERTER AND CONVERTING METHOD
摘要
申请公布号 EP0972205(B1) 申请公布日期 2006.12.13
申请号 EP19990901137 申请日期 1999.01.22
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 MATSUMOTO, TOSHIYUKI;HIROTA, YOSHIHIRO;HARADA, MUNEO
分类号 G01R27/26 主分类号 G01R27/26
代理机构 代理人
主权项
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