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发明名称
摘要
申请公布号
JP3855451(B2)
申请公布日期
2006.12.13
申请号
JP19980120574
申请日期
1998.04.30
申请人
发明人
分类号
C04B41/87;H01L21/314;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/312
主分类号
C04B41/87
代理机构
代理人
主权项
地址
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