具有可变声学阻抗的超声波换能器晶片

摘要

本发明是一种具有可变声学特性的晶片。该晶片可以被用作一个用于在其上成形一超声波换能器的基片，一个IC，或者被用作一个电路板。成形在所述晶片上的超声波换能器可以包括有压电陶瓷换能元件或MUT元件。通过对所述晶片的声学阻抗进行控制，该晶片上成形有用于一超声波换能器的集成控制电路，使得该晶片的声学阻抗能够与所述超声波换能器所需的声学阻抗相匹配。另外，通过额外的内部间隙，所述晶片能够减小或消除声学能量穿过所述晶片的横向传播。

主权项

1.一种超声波换能器，包括：一个具有形成在第一晶片组件上的多个元件的超声波传感器；以及一个被形成在第二晶片组件上的集成电路，该第二晶片组件包括有多个凹腔，这些凹腔限定了多个立柱，从而使这些凹腔改变所述第二晶片组件的声学阻抗，其中，所述集成电路被连接到所述第一晶片组件上的所述超声波传感器，所述超声波传感器中的每个元件位于多个凹腔中一个的上方。