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发明名称
Method of evaluating a particle concentration in an atmosphere of a clean-room or a mini-environment
摘要
申请公布号
EP1411342(B1)
申请公布日期
2006.12.13
申请号
EP20020292518
申请日期
2002.10.11
申请人
S.O.I. TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES S.A.
发明人
MALEVILLE, CHRISTOPHE
分类号
G01N15/06;G01N1/22
主分类号
G01N15/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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