发明名称 Method of evaluating a particle concentration in an atmosphere of a clean-room or a mini-environment
摘要
申请公布号 EP1411342(B1) 申请公布日期 2006.12.13
申请号 EP20020292518 申请日期 2002.10.11
申请人 S.O.I. TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES S.A. 发明人 MALEVILLE, CHRISTOPHE
分类号 G01N15/06;G01N1/22 主分类号 G01N15/06
代理机构 代理人
主权项
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