| 发明名称 | 遮盖框 | ||
| 摘要 | 一种遮盖框，用于在沉积室内对基材上进行沉积工艺时遮盖基板的周缘，其具有：框体，具有大致呈矩形的封闭外型；周缘支撑凸缘自该框体内缘向内延伸，该凸缘具有第一表面，该第一表面面向该基材，及相反第二表面，该支撑凸缘并具有邻近第一表面的第一圆形端部及邻近第二表面的第二圆形端部；及周缘阶梯状凹陷处，形成于该第一表面上，靠近该支撑凸缘的第一圆形端部。 | ||
| 申请公布号 | CN2846441Y | 申请公布日期 | 2006.12.13 |
| 申请号 | CN200520018288.1 | 申请日期 | 2005.05.13 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 佛鲁斯特·凯勒;约翰·M·怀特 |
| 分类号 | C23C16/04(2006.01) | 主分类号 | C23C16/04(2006.01) |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人 | 包红健 |
| 主权项 | 1.一种遮盖框，用于在沉积室内对基材上进行沉积工艺时遮盖基板的周缘，其特征是具有：框体，具有呈矩形的封闭外型；周缘支撑凸缘自该框体内缘向内延伸，该凸缘具有第一表面，该第一表面面向该基材，及相反第二表面，该支撑凸缘并具有圆形端部；及周缘阶梯状凹陷处，形成于该第一表面上，靠近该支撑凸缘的第一圆形端部。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州CA95052圣塔克拉拉邮政信箱450A | ||