发明名称 一种熔料补充生长晶体的装置和方法
摘要 本发明涉及一种熔料补充生长晶体的装置和方法,属于晶体生长领域。本发明生长装置,包括提拉旋转系统(2、11)、加热控温系统(4、7)和称重系统(1),排液系统(3、12、9)和多坩埚系统(10、8);其中排液系统与称量系统相连,排液系统包括排液下降机构(3)、排液导杆(12)和排液模拟体(9);多坩埚系统包括相互连通的一个生长坩埚(10)和一个或多个补给坩埚(8)。晶体生长时不向补给坩埚中添加原料,而是通过排液的原理在液体中排开相应体积的熔体到生长坩埚中。本发明的生长方法获得的单晶成分均匀性高、成分可调整、光学均匀性好、尺寸大,本发明的生长设备简单、成本低。
申请公布号 CN1289721C 申请公布日期 2006.12.13
申请号 CN200310108634.0 申请日期 2003.11.14
申请人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明人 郑燕青;陆治平;施尔畏;王绍华;崔素贤
分类号 C30B15/00(2006.01);C30B15/28(2006.01) 主分类号 C30B15/00(2006.01)
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 潘振甦
主权项 1、一种熔料补充生长晶体的装置,包括提拉旋转系统(2、11)、加热控温系统(4、7)和称重系统(1),其特征在于装置组成还包括排液系统和多坩埚系统;所述的排液系统(3、12、9)与称量系统相连,排液系统包括排液下降机构(3)、排液导杆(12)和排液模拟体(9);所述的多坩埚系统包括相互连通的一个生长坩埚(10)和一个或多个补给坩埚(8)。
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