发明名称 | 平板显示器制造设备的起模针模块 | ||
摘要 | 本发明提供一种起模针模块,为了防止工艺气体在工艺过程中通过起模针孔渗入,引发异常放电的现象,该起模针模块具备起模针,该起模针紧贴着位于下部电极的起模针孔。 | ||
申请公布号 | CN1877806A | 申请公布日期 | 2006.12.13 |
申请号 | CN200610079818.2 | 申请日期 | 2006.05.09 |
申请人 | 爱德牌工程有限公司 | 发明人 | 李荣钟;崔浚泳;金春植;李昌根;金炯寿;李祯彬;黄荣周;孙亨圭;李升昱;尹炳五;任相俊;金龙泰 |
分类号 | H01L21/683(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王艳江;杨生平 |
主权项 | 1、一种平板显示器制造设备的起模针模块,其特征是,装在平板显示器制造设备上,用于升降基板的起模针模块中,起模针紧贴着下部电极的起模针孔。 | ||
地址 | 韩国京畿道城南市中院区上大院洞333-5番地 |