发明名称 平板显示器制造设备的起模针模块
摘要 本发明提供一种起模针模块,为了防止工艺气体在工艺过程中通过起模针孔渗入,引发异常放电的现象,该起模针模块具备起模针,该起模针紧贴着位于下部电极的起模针孔。
申请公布号 CN1877806A 申请公布日期 2006.12.13
申请号 CN200610079818.2 申请日期 2006.05.09
申请人 爱德牌工程有限公司 发明人 李荣钟;崔浚泳;金春植;李昌根;金炯寿;李祯彬;黄荣周;孙亨圭;李升昱;尹炳五;任相俊;金龙泰
分类号 H01L21/683(2006.01) 主分类号 H01L21/683(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 王艳江;杨生平
主权项 1、一种平板显示器制造设备的起模针模块,其特征是,装在平板显示器制造设备上,用于升降基板的起模针模块中,起模针紧贴着下部电极的起模针孔。
地址 韩国京畿道城南市中院区上大院洞333-5番地