| 发明名称 | 在衬底上图形化结构的装置和方法 | ||
| 摘要 | 一种用来在衬底上图形化结构的装置，此装置包含成像装置，此成像装置具有扫描尖端、发光器件、以及扫描尖端周围的空间，此空间包含适合于在分解时化学气相淀积到衬底上的材料蒸汽，其中，发光器件被用来发射光束，此光束所具有的强度不能分解蒸汽，此光束以这样的方式发射到扫描尖端，即在扫描尖端附近由光束诱发的电磁场高得足以分解蒸汽。 | ||
| 申请公布号 | CN1878722A | 申请公布日期 | 2006.12.13 |
| 申请号 | CN200480033219.6 | 申请日期 | 2004.11.09 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | 谢弗列德·F·卡格;海克·E·里耶尔;沃尔特·雷耶斯;雷托·施里特勒;罗纳德·W·格曼 |
| 分类号 | B82B3/00(2006.01);C23C16/04(2006.01);H01J37/317(2006.01) | 主分类号 | B82B3/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1.一种用来在衬底(201，301)上图形化结构(207，307)的装置(200，300)，此装置包括：成像装置(202，302)，此成像装置(202，302)具有扫描尖端(203，303)；发光器件(204，304)；以及扫描尖端周围的空间，此空间包含适合于在分解时化学气相淀积到衬底(201，301)上的材料蒸汽，其中，发光器件(204，304)被用来发射光束(206，306)，此光束所具有的强度不能分解所述蒸汽，此光束(206，306)以这样的方式发射到尖端(203，303)上，使得在尖端(203，303)附近由该光束(206，306)诱发的电磁场足够高以分解所述蒸汽。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||