测量激光光束平行性的装置

摘要

一种测量激光光束平行性的装置，本实用新型采用被检测光束、光阑、会聚透镜、半透半反镜、两个柱透镜、两个四象限探测器和计算机组成测量装置；会聚物镜、半透半反镜、两个柱透镜和两个四象限探测器构成光束平行性检测器，基于象散法聚焦误差探测来进行光束平行性的探测。采用差动法消除由于入射光离轴造成的探测误差。可以通过设计光学系统以拥有任意灵敏度和线性范围；尤其适合测量高质量的小口径，小发散角的具有旋转对称性的激光光束。

主权项

1、一种测量激光光束平行性的装置，特征在于其构成是：同光轴地依次设有光阑(2)、会聚透镜(3)、半透半反镜(4)、第一柱透镜(5)、第一四象限探测器(7)，在所述的半透半反镜(4)的反射光方向，即垂直于所述的光轴方向依次是第二柱透镜(6)、第二四象限探测器(8)，所述的第一柱透镜(5)和第二柱透镜(6)关于所述的半透半反镜(4)的分光面相对称，所述第一四象限探测器(7)和第二四象限探测器(8)的信号输出端与计算机(9)的输入端相连。