热式流体流量计

摘要

实现一种温度特性好、提高了测量精度的热式空气流量计。热式空气流量计具有：温度传感器(16)，其设置于空气流量计的壳体(23)内；运算器(17)，其利用该温度传感器(16)修正来自于测定元件(1)的流量检测电压；加热温度控制机构(6b)，其在进行发热电阻(5)的温度控制的温度控制电路中，使发热电阻(5)的相对于空气温度的上升温度因空气温度而变化。可以同时地修正因整体温度变化与吸气通路壁面温度变化而产生的热式空气流量计的流量检测误差，从而可以实现测定精度好的热式空气流量计。

主权项

1.一种热式流体流量计，其特征在于，具备：流量测定元件(1)，其被配置在流体通路内，且在同一基板上形成有：通过流通有电流而发热的发热电阻(5)、用于检测流体温度的温度补偿电阻(6a)、测定上述发热电阻(5)的上游的温度的第一测温电阻(9)、以及测定下游的温度的第二测温电阻(10)；温度控制电路(12、13)，其控制上述发热电阻(5)的温度；壳体(23)，其被形成上述流体通路的吸气管的壁面支承、且其支承上述流量测定元件(1)；温度传感器(16)，其测定上述壳体(23)内的温度；运算器(17、18)，其从上述第一以及第二测温电阻(9、10)输入对应于流体流量的信号，利用上述温度传感器(16)来进行温度修正并输出；加热温度控制机构(6b、29)，其使流体的温度与上述发热电阻(5)的温度的差对应于流体温度而变化。