| 发明名称 | 真空排气系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种可在最适合处理状态的状态下运转并提高真空排气系统的效率的真空排气系统。真空排气系统(10)具有真空泵(20)、(30)、设置于真空排气系统(10)中的真空区域的压力传感器(50)。真空泵(20)、(30)具有输送气体的一对转子、使一对转子旋转的电动机、使一对转子同步的定时齿轮、控制电动机旋转的驱动器(26)、(36)。真空排气系统(10)还具有控制部(60)，根据由压力传感器(50)检测出的压力，经由真空泵(20)、(30)的驱动器(26)、(36)来控制转子的旋转速度。 | ||
| 申请公布号 | CN1877132A | 申请公布日期 | 2006.12.13 |
| 申请号 | CN200610074182.2 | 申请日期 | 2006.04.07 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 田中敬二;杉浦哲郎;香川浩一 |
| 分类号 | F04D27/00(2006.01);F04C28/00(2006.01);F04B49/00(2006.01) | 主分类号 | F04D27/00(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 1、一种真空排气系统，其特征在于具有：至少1个真空泵，该真空泵具备输送气体的一对转子、使上述一对转子旋转的电动机、使上述一对转子同步的定时齿轮、控制上述电动机的旋转速度的驱动器；压力传感器，被设置于上述真空排气系统中的真空区域；以及控制部，根据由上述压力传感器检测的压力，经由上述至少1个真空泵的驱动器来控制上述转子的旋转速度。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||