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发明名称 Apparatus for coating a substrate
摘要
申请公布号 EP0783174(B1) 申请公布日期 2006.12.13
申请号 EP19960112420 申请日期 1996.08.01
申请人 APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG 发明人 SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR.;TESCHNER, GOETZ;ZMELTY, ANTON
分类号 C23C14/34;H01J37/34;C23C14/00;C23C14/35;C23C14/40;C23C14/56;C23C16/50;H01J37/32 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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